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PRIOR納米定位設備

PRIOR納米定位設備

英國PRIOR的Queensgate系列納米定位設備英文名為Nanopositioning Devices,包含了一系列的配套納米技術産品,包括:納米定位平台,閉環/開環數字控制器,執行器,傳感器等。顯微鏡納米定位設備能應用于需要高速,高精度的應用,如測量磁頭和磁盤驅動器,幹涉測量法,計量學,原子力顯微鏡探針等。

所屬品牌: 英國PRIOR

應用類型:

産品型号:NPS-X-28C,QGNPS-TG-7A,QGNPS-X-15A,QGNPS-XY-100

負責人:藍工
聯系電話:13691896712 電子郵箱:

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15μm行程,帶寬高達1KHz,亞納米精度,毫秒級響應時間,Queensgate納米定位設備(Nanopositioning Devices

 

英國PRIOR旗下的Queensgate系列納米定位設備(Nanopositioning Devices)擁有悠久而成功的曆史,其專家團隊擁有豐富的知識和經驗,能夠提供一系列OEM納米定位解決方案。

Queensgate系列産品有納米定位設備,納米定位平台,納米傳感器,控制器和電子設備,還包括納米定位執行器/轉換器和軟件等各種納米技術産品。

 

一、OEM納米定位平台

型号:NPS-X-28C納米定位平台,30μm行程範圍, Nanopositioning

NPS-X-28C是為高速,超精密MR磁頭和磁盤驅動器測試應用而開發的OEM納米定位平台。它體積小,毫秒響應時間非常适合高可靠性和高吞吐量的應用。NPS-X-28C納米定位平台具有低移動質量和高剛度相結合,并且提供極高的帶寬。

NPS-X-28C納米定位設備采用電容式傳感器設計,提供亞納米位移測量和超過30微米範圍的閉環反饋。設備具有高精度的運動,很大程度上避免寄生運動。結合Queensgate的數字閉環控制器,NPS-X-28C可以實現毫秒響應和穩定時間(settle times)。

 

NPS-X-28C 30  OEM納米定位平台的特點:

· >30μm行程,亞納米分辨率

· 第一諧振頻率> 4.5KHz

· 帶寬高達1KHz

· 原位掃描和步進響應優化

· 穩定可靠,即插即用設施,可實現低停機時間。

 

控制器型号:

NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器

專為控制Queensgate的納米精密設備而設計。PRIOR的控制器使用現代DSP技術,并結合壓電驅動放大器,電容位置傳感電路和伺服控制功能,同事還使用PID(比例積分微分)反饋,極大地改善了穩定時間并弱化了機械共振的影響。虛拟前面闆軟件便于用戶控制所有操作參數,包括設置PID循環。

 

二、Nanopositioning Stages納米定位平台

PRIOR的Nanopositioning Stages納米定位平台采用閉環壓電驅動技術。産品規格書中列出了納米平台對應的标準材料,我們還提供衆多替代材料,包括Super Invar,不鏽鋼,钛和鋁,應用于真空,輻射,高溫兼容等不同的場合。

Queensgate納米定位平台采用線性或傾斜/旋轉形式,具有單軸和多軸配置,采用高性能壓電驅動,結合Queensgates獨特的電容位置反饋,提供完整的高性能閉環系統。合理設定閉環數字控制器,即可以實現完全即插即用的互換性,使用非常方便。

 

QGNPS-TG-7A高性能尖端傾斜納米平台

納米定位尖端傾斜納米平台QGNPS-TG-7A專為需要高速,超高精度,光學檢測中的反射鏡定位、成像系統和激光定位設備而開發。一個的鏡子固定在傾斜基座平台上,提供> 7毫弧度的行程,具有亞微弧度分辨率。

QGNPS-TG-7A專為高速帶寬而設計,适用于高速應用。 它采用Invar 36結構制造,其低熱膨脹系數與大多數光學元件相匹配,可最大限度地減少熱變形,并最大限度地減少熱位置移動。标準系統提供± 3.5 mrad行程,但可根據要求提供更短距離選項。

 

QGNPS-TG-7A納米轉動平台的特點:

· 每個軸向有超過7mrad的移動範圍,分辨率高達亞微弧度

· Invar 36設計匹配大多數光學元件的熱膨脹并最小化任何熱位置移動

· 電容式定位傳感器提供無與倫比的位置精度和準确度,高位置更新率

· 動态性能,高負載諧振頻率以及超過1KHz的超高伺服環路帶寬

· 封閉機制,高穩定性和可靠性

· 步進時間<2ms

· 即插即用

 

QGNPS-TG-7A納米旋轉平台的控制器型号為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller,這款納米旋轉平台可用于激光掃描、激光束穩定、圖像處理和穩定、光學濾波器/開關、掃描顯微鏡(SPM)和激光通信指向設備等領域。

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平台,15μm行程

QGNPS-X-15A 微米級平台是專為高速,超精密MR磁頭和磁盤驅動器測試等應用而設計,其具有小巧的尺寸和毫秒的響應時間,非常适合用于高可靠性和高吞吐量的各種應用場合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平台具有低移動質量(low moving mass)和高剛度,提供極高的帶寬。

微米平台内部集成了緊湊的内部電容式傳感器,可在超過16微米的範圍内提供亞納米位移測量和閉環反饋。提供高純度的運動,将寄生運動減少到通常1微弧度。結合Queensgate的數字閉環控制器,QGNPS-X-15A可以實現毫秒響應和啟動時間。

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的特點:

·15微米行程,亞納米分辨率

·第一諧振頻率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)

·負載為50克時響應時間為毫秒級

·原位掃描和步進響應優化

·穩定可靠的工業級産品

·低停機時間,即插即用

 

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的控制器型号可選NPC-D-5200 Digital ControllerNPC-D-6000 Series。其應用領域涵蓋磁頭和磁盤驅動器測試、幹涉測量法、計量學和原子力顯微鏡探針等領域。

 

QGNPS-XY-100兩軸微米平台(兩軸100x100µm平台)

QGNPS-XY-100屬于壓電掃描彎曲導向平台,帶有集成電容位置傳感器,能夠達到亞納米級的分辨率和重複性。QGNPS-XY-100的彎曲引導結構能夠使兩軸微米平台在整個100微米範圍内将寄生角運動減少到小于25微弧度。這款兩軸微米平台還采用了獨特的等靜壓安裝系統,可确保安裝系統的應力得到适當的釋放,并确定平台的中心作為坐标參考點。

QGNPS-XY-100A雙軸100μmx100μm超級不脹鋼微米平台——由超級殷鋼(CTE 0.3ppm K-1)制成,可最大限度地減少熱漂移,這一點對于納米平台非常重要。配備3點可調安裝座。

QGNPS-XY-100D雙軸100μmx100μm超級鋁微米平台——具有極佳分辨率,快速的XY-100系列動态,非常具有性價比。 配備4個角落安裝。

 

QGNPS-XY-100特點:

· 每個軸行程大于100微米,亞納米分辨率

· 滞後和線性誤差<0.005

· 第一諧振頻率> 350 HzNPS-XY-100A),> 500 HzNPS-XY-100B),> 650 HzNPS-XY-100D

· 高帶寬(> 50 Hz)和快速響應時間

· 原位掃描和步進響應優化

· 與NPS-Z-15ANPS-Z-15H配合使用可實現XYZ三軸平移

· 使用超級不脹鋼材料(NPS-XY-100A),鋁合金(NPS-XY-100B)或鋁(NPS-XY-100BD

 

QGNPS-XY-100兩周微米平台的控制器型号為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller,其可應用于高精度顯微鏡和原子力顯微鏡,SPMNSOM等領域。

 

文獻資料

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