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随機點陣DOE 散斑DOE 随機點陣激光模組
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結構光模組>
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納米壓印機,納米壓印模闆,微加工掩膜

納米壓印機,納米壓印模闆,微加工掩膜

丹麥NILT公司是一家制造納米壓印機,生産納米壓印模闆、掩膜而著稱的高科技公司。其中,NILT的旗艦産品CNI系列納米壓印機具有熱壓印(溫度達240℃)和 紫外壓印(365nm)兩種功能 ,其人性化的設計使得整個納米壓印的過程十分簡單、靈活且便利。而另一款EZI-UV NIL納米壓印儀器具有高精确度,全晶圓壓印的特點,可處理10nm尺寸内的圖形,且具有99%的良品率。 型号:CNI V2.1,EZI-UV NIL

所屬品牌: 丹麥NILT

應用類型:

産品型号:

負責人:藍工
聯系電話:13691896712 電子郵箱:lanxueyan@welloptics.cn

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240℃熱壓印,365nm紫外壓印,1mbar真空壓印,NILT納米壓印機

 

NIL TECHNOLOGY Aps (NILT) 的是一家專門從事生産納米壓印機、納米結構微加工掩膜和各類标準納米壓印模闆的高科技公司。其中丹麥NILT公司的納米壓印設備(Nanoimprint lithography Tools)産品主要有CNI系列紫外/熱壓納米壓印機,以及EZI-UV NIL納米壓印儀器。

丹麥NILT公司納米壓印機能夠實現納米壓印、熱模壓、滾印、注射模塑和紫外壓印等多種功能,适用于多種應用。

 

NILT納米壓印機主要應用:

壓印易碎的材料、在矽片上制作納米級光栅

制作壓印模闆、掩膜

熱壓高深寬比結構圖形

微結構加工

 

CNI系列納米壓印(UV & 熱壓), 纖細輕巧的納米壓印機

CNI V2.1 是一款專為實驗室開發的即插即用,纖細輕巧的納米壓印工具,其能低成本且高效地實現高精度的納米熱壓工藝。它兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能,而且可以快速的實現真空環境下的壓印。這個系統可以方便的根據不同需要進行配置,閑置時也易于收藏。

它可以處理各種不同形狀、格式以及直達100mm4英寸)的模闆和基片。該系統隻需要手動裝入和取出模闆和基片,其餘的操作都是自動化進行,同時附帶軟件還提供了詳細的參數設置,讓客戶對壓印過程實行全名的操控。

 

特點:

熱壓印(溫度達240℃)和 紫外壓印(365nm)兩種功能

真空壓印(1mbar

即插即用,纖細輕巧,實驗設計、記錄、分析的好幫手

 

EZI-UV NIL納米壓印機

EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600

EZImprinting是一款具有超高良品産率(> 99%),帶有一步自動脫模制式(ONE-STEP AUTO RELEASE)特色的納米壓印光刻平台,可精确運作和處理的10納米以内的圖形。

特點:

可處理10nm尺寸内的圖形,99%的良品率

全晶圓壓印,6英寸(NTP-600) 4英寸(NTP-400),

一步自動脫模(ONE STEP AUTO-RELEASE)專利,避免基闆和模闆損傷

PLC可編程式軟件和觸控界面

可配合軟硬模闆 ,适合不同大小基闆和模闆

 

NILT CT100 - 脫模處理設備(Release Agent Treatment Tool

為了達到高質量的壓印效果,必須保證模具表面的低能量,以确保模具容易從壓印抗蝕劑中脫離。 CT100脫模處理設備是一種易于使用的全自動工具,可在15分鐘内對模具進行防粘塗層。

 

NILT PC100 - 等離子清潔設備(Plasma cleaning tool

PC100等離子清潔設備是一款具有下遊等離子體的批量清潔工具(晶片垂直放置在腔室内)。 下遊等離子體不會攻擊任何有機材料,包括晶片表面上的金屬。 該工具可配備3 nm濾光片,以确保清潔後晶圓上的顆粒污染極低。

 

NIL仿真軟件

NILT提供了Simprint仿真軟件,節省寶貴的時間來優化壓印參數,

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