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NILT納米壓印模闆

NILT納米壓印模闆

丹麥NILT供應各類材質(包括矽、石英、聚合物、鎳、PDMS)的納米壓印模闆,并根據這些納米壓印母模,複制出高能效的鎳、聚合物、PDMS 模片,從而節省客戶的成本。NILT納米壓印的母模制造通常會用電子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蝕刻UV LITHOGRAPHY,激光幹涉蝕刻法幾種工藝來制造,NILT公司可以根據客戶要求,設計出符合需求的納米/微米圖形,熱壓印模片。 型号:SILICON NIL STAMPS ……

所屬品牌: 丹麥NILT

應用類型:

産品型号:

負責人:藍工
聯系電話:13691896712 電子郵箱:

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矽、石英、聚合物、鎳、PDMS材質,NILT納米壓印模闆,模片,母模

 

丹麥NIL TECHNOLOGY Aps (NILT) 公司除了提供納米壓印機外,還供應各類材質,各類功能的納米壓印模闆,模片和母模,是目前重要的納米壓印模闆的世界級供應商之一。其涉及的應用十分廣泛,包括光電相關的如折射膜、增光膜、抗反射膜,線路網格、傳感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM等。

其中納米壓印模闆根據材質的不同分為矽質模闆 (Silicon NIL Stamps),石英 QUARTZ 模闆 (Fused Silica NIL Stamps),鎳模片 (Nickel SHIM),聚合物模闆 (Polymer  NIL Stamps)PDMS 掩膜 (PDMS NIL Stamps)

NILT米壓印模闆可以根據客戶要求,設計出符合需求的納米/微米圖形,其母模的制造通常會用電子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蝕刻UV LITHOGRAPHY,激光幹涉蝕刻法幾種工藝來制造。NILT能夠為石英或矽晶圓模闆為母模,并從中中複制出聚合物、鎳、PDMS材質的模片,模闆一般以矽晶圓或切割成方塊交貨給客戶作為托底。

 

NILT矽質模闆 (SILICON NIL STAMPS)

丹麥NILT是目前重要矽模闆的頂級供應商之一,涉及的應用十分廣泛,例如生物科技、藍寶石圖形化PSS。一般通過電子束E-BEAM LITHOGRAPHY, 紫外光蝕刻UV LITHOGRAPHY NIL 刻蝕出矽模闆,模闆上可根據客戶需求設計納米圖形。矽NIL模闆可以以矽晶圓或切割成方塊交貨,還可再造出聚合物模片或鎳掩膜。

規格:

規格

模闆材料

矽材質

模闆尺寸(晶圓形狀)

2, 4, 6英寸

模闆尺寸(方形)

從晶圓切割的任何方形格式

模闆厚度

2mm

最小橫向尺寸

20 nm

寬高比

最高1:10(取決于模式)

可定制

客戶指定

設計文件格式

gdsdxftdb

防粘

FDTS(可選)

交貨時間

通常為4

 

NILT熔融石英模闆 (FUSED SILICA NIL STAMPS)

熔石英模闆因為透明度高所以用得最多應該是在UV 納米壓印UV NIL

規格:

規格

模闆材料

used silica (Quartz)

模闆尺寸(晶圓形狀)

2", 4", 6"

模闆尺寸(方形)

Any format cut from wafers

模闆厚度

1 mm (other upon request)

最小橫向尺寸

20 nm

長寬比

Up to 1:5 (pattern dependent)

設計

Customer specified

設計檔案格式

gds, dxf, tdb

防粘

FDTS (optional)

交貨時間

Typically 4 weeks

 

NILT鎳模片 (NICKEL SHIM)

NILT可以從矽晶圓、聚合物或石英材質的模闆中複制出鎳片。鎳掩膜的形狀為四方或長方形,尺寸可達600mm X 60mm. 鎳模片在納米壓印技術上應用甚廣,包括光電相關的如增光膜、抗反射膜,在醫學領域和實驗室晶片LAB-ON-A-CHIP

規格:

規格

模片材料

Nickel

硬度

Different alloys are available

模片尺寸

2", 4", and square up to 600 mm x 600 mm

模片厚度

100 um 2 mm

最小橫向尺寸

100 nm

長寬比

Up to 1:3 (pattern dependent)

設計

Customer specified

設計檔案格式

gds, dxf, tdb

防粘

FDTS (optional)

交貨時間

Typically 4-6 weeks

 

聚合物母模 (POLYMER NIL STAMPS)

NILT同樣不會對圖形設計作出任何限制。聚合物可以從石英或矽晶圓複制出來,一般交貨時都以矽晶圓片托底。 聚合物模闆的應用很廣,包括折射膜、線路網格、傳感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM

規格:

規格

模闆ID

SMSS_SIQZ_V1

模闆尺寸

20 mm x 20 mm

模闆材料

Silicon or Fused Silica

模闆厚度

1 mm

結構尺寸

500 nm -  µm

蝕刻深度

1 µm or 2 µm in Silicon. 500 nm in Fused Silica

圖案字段大小

5 mm x 5 mm

交貨時間

3-4 weeks

 

PDMS 母模 (PDMS NIL STAMPS)

PDMS的母模制造通常會用電子束E-BEAM LITHOGRAPHYNIL蝕刻或紫外光蝕刻UV LITHOGRAPHY,可按客戶需求設計納米圖形。 PDMS模片可以從石英或矽晶圓複制出來,一般交貨時都以矽晶圓片托底。可應用于MICROFLUIDICS & LOC SHIMS 微流控器&實驗室晶片,微流控器&實驗室晶片。

規格:

規格

模闆材料

PDMS

模闆尺寸(晶圓形狀)

Up to 6 inch round

模闆厚度

1 mm (other upon request)

最小橫向尺寸

20 nm

長寬比

Up to 1:3 (pattern dependent)

設計

Customer specified

設計檔案格式

gds, dxf, tdb

防粘

FDTS (optional)

交貨時間

Typically 4 weeks


 

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